衡昇质谱Laser 2300激光剥蚀

产品说明书

1 激光系统：采用光源波长213nm，控制激光输出；脉冲能量4mJ/pulse；光学衰减器调节能量0-100%输出，不同能量输出时光斑质量保持稳定；激光脉冲宽度4ns；脉冲重复频率1-20Hz；配置水冷系统；光斑尺寸范围涵盖4-280μm，支持扩展；固态激光闪烁灯使用寿命至少5000万次，泵浦灯便于更换，无需打开光路等，用户可自行完成。

2 光学观察和成像系统：彩色高清晰显微成像系统，最大光学放大倍率40倍，放大倍数可连续调节；光学分辨率<2μm; 具有透射光、同轴光、泛光等多种照明方式，高亮度LED 光源，三种模式的光线亮度0-100%可由软件控制独立调节。

3 进样系统：双气路双体积样品池，小样品杯容积<3cm³；样品测试最佳空间稳定性<2%RSD，wash out时间<700ms。

4 气体控制：内置气体控制器，软件控制气流模式；配置高精度氦气载气控制器。

5 控制与软件系统：支持Windows7及更高版操作系统，在同一屏幕上可观察整个样品区域，并导视微区位置；显示激光所有状态及参数，样品台位置，载气流量和照明控制等；具有单点分析、深度分析、多点矩阵、光栅扫描、单线扫描、多线扫描、3D轮廓跟踪扫描等功能；具有动态扫描功能，可实现点与点之间精确相切剥蚀，实现剥蚀面无遗漏无重复剥蚀，软件设置支持自动剥蚀进样；软件终身免费升级；与质谱的操作软件可实现双向触发通讯，通过操作质谱软件即可控制激光剥蚀。

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